各有关单位：

  根据《省科技厅关于2025 年度江苏省科学技术奖提名工作的通知（苏科资发〔2026〕74号》文件要求，现在对我校周胡海兵老师参与申报的2025年度江苏省科技进步奖项目“国产半导体晶圆搬运机器人‘麒麟OHT天车’关键技术研发及规模化应用”信息现予公示。

公示信息如下：

项目名称：国产半导体晶圆搬运机器人“麒麟OHT天车”关键技术研发及规模化应用

主要完成人：胡海兵、孙俊杰、付斌、曹海霞、张晓鹏、赵家丰、李好

主要完成单位：江苏道达智能科技有限公司、南京航空航天大学

项目简介：

半导体晶圆厂空中搬运机器人（OHT）是12英寸先进产线自动化物料输送系统（AMHS）的核心装备，承担晶圆盒7×24小时不间断跨工序、跨车间转运任务，设备精度、洁净度、多机协同调度门槛极高，长期被海外企业垄断，国内产线高度依赖进口设备，存在供货周期长、采购运维成本高、核心控制系统与供电技术“卡脖子”、自主可控程度不足等产业痛点，严重制约国内晶圆制造产业链安全与降本增效。本项目面向国内半导体产业自主可控重大需求，攻克OHT全链条国产化核心技术，打造纯自研“麒麟OHT天车”并实现批量规模化落地，填补国内12寸高端晶圆搬运装备自主化空白。突破了三大核心技术群：

1、高速低振高精度一体化机械结构设计，指标达国际先进水平：实现直线运行速度5.3m/s、定位精度±1mm、振动值<0.35g的核心性能指标，在高速行进中精准对接设备装卸口，确保晶圆搬运零误差。

2、国内首套洁净室专用自研WPS非接触无线供电技术，打破海外供电方案垄断。自主研发基于电磁感应原理的非接触供电系统，实现沿轨道移动设备的无线取电；支持全天候不间断运转，无需充电等待。

3、集群AI分布式协同调度控制系统（自研OHTC），实现全栈软件自主可控：自主研发天车控制系统，集成AI算法实现路径规划、自动导航与多车避障；支持1000台以上天车集中调度，彻底摆脱海外控制系统授权限制，可深度适配国产CIM工厂信息化系统一体化集成。

项目成果已在山东有研艾斯半导体材料有限公司、长飞先进半导体（武汉）有限公司、嘉兴斯达微电子有限公司、格科微电子（浙江）有限公司等半导体制造企业批量投产，支撑多条先进产线自动化物流升级；大幅降低国内晶圆厂装备采购与运维成本，保障半导体产业链供应链自主安全。项目攻克多项“卡脖子” 核心装备技术，经中国机电一体化技术应用协会组织权威专家鉴定：“整体技术水平国内领先、国际先进”，推动我国半导体高端物流搬运装备实现从完全进口到自主规模化替代的跨越式发展，对江苏省集成电路产业强链补链、培育高端装备新质生产力具备重大示范带动作用。

公示时间：2026年6月18日—6月25日，如有异议，请在公示期内以书面、电话或邮件形式与科学技术研究院（明故宫校区行政楼604室）反映，并提供必要的证据材料。凡匿名、冒名和超出期限的异议不予受理。

联系电话：025-84892160